无油真空泵选购型号知识

1、真空设备部件材质的要求。

如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀；带有灰尘或颗粒的气体时，要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

真空度计算方式： 真空度=大气压强-绝对压强(大气压强一般取101325Pa，水环式真空泵极限绝对压强3300Pa；旋片式真空泵极限绝对压强约10Pa)

机械手无油真空泵

2、抽气量：抽气量是真空泵抽速的一个衡量因素。一般单位用L/S和m/h来表示。是弥补漏气率的参数。

真空泵的要能够保证抽出工艺过程中的气体，真空泵选型也要保证真空泵的适用性，就需要了解气体中是否含有可凝气体、是否含有粉尘颗粒、是否具有腐蚀性、易燃易爆等；如果气体中含有可凝性气体和颗粒尘埃，应该考虑在泵的进气口管路上安装如冷凝器、除尘器等辅助装置；如果抽取气体含有腐蚀性，则须选用可靠材质；若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵，配备防爆电机，水环式真空泵在工作过程中是等温的。

3、极限相对压强：相对压强即所测内部压强比“大气压”低多少压强。表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值。由于容器内部空气被抽，因此，内部的压强始终低于容器外部压强。

当用相对压强或者表压强表示的时候，数值前面必须带负号，表示容器内部压强比外部压强低。

4、真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度表示。从真空表所读得的数值称真空度。真空泵选型时的极限真空度是泵抽速为零的时候所能达到的真空度，必须高于工艺生产要求的真空度，至少要高一个数量级，真空度数值是表示出系统压强实际数值低于大气压强的数值，从表上表示出来的数值又称为表压强，业界也称为极限相对压强，并且设备适合在要求的工作真空度范围内工作。

例如：真空镀膜要求1×10-5 mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6 mmHg。

通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

5、极限绝对压强：绝对压强即所测内部压强比”理论真空(理论真空压强值为0Pa)”高多少压强。它所比较的对象为理论状态的绝对真空压强值。

真空泵所抽的真空值比理论真空值要高。所以当用绝对真空表示时，数值前面无负号。

6、真空泵工作时产生的振动。

真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，对于环境不允许时，可以选择无振动的泵或者采取减震措施。

7、准确地组合真空泵。

由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，可以把多种泵组合成组合泵，互相补充达成抽气目的。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气互相补充才能满足抽气要求。

前级泵在主泵出口处产生的压力要比主泵所排出的最大排气压力低，前级泵应保证能够及时排出主泵所排出的气体，最后，兼作预抽泵的前级泵要满足预抽时间和预抽真空度的要求。

8、所选真空泵的价钱、运行及维护费用。

真空泵选型过程中，多种真空泵能同时满足工艺需求时，要进行成本和运转费用的经济性分析，选用经济性好，运行可靠，维修量小，使用与维修方便的真空泵。

9、正确地选择真空泵的工作点。

每种泵都有一定的工作压强范围，

例如：扩散泵为10-3 ~10-7 mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而 变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6 mmHg。

因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能 让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5 mmHg为好。

10、真空设备对油污染的要求。 若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡 油阱等，也能达到清洁真空要求。

11、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。 选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。·

12、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。 如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

13、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。